真空技术在现代工业生产中得到了广泛应用，而真空系统的漏气问题一直是制约其应用的重要因素之一。氦质谱真空检漏方法是一种高灵敏度、高精度的检漏方法，已成为真空系统漏气检测的主要手段之一。本标准旨在规范氦质谱真空检漏方法的检测过程，提高检测结果的准确性和可靠性。

1. 基本原理
氦质谱真空检漏方法是利用氦气的小分子质量和高扩散性，将氦气注入被检测系统中，通过检测系统中的氦气浓度变化来判断系统是否漏气。氦气的小分子质量使其在真空系统中扩散速度比其他气体快，因此可以快速地扩散到漏点处，从而实现对漏点的检测。

2. 仪器设备
氦质谱真空检漏仪是进行氦质谱真空检漏的主要设备，其主要组成部分包括氦质谱检漏仪、氦气充装系统、真空系统和计算机控制系统等。氦质谱检漏仪是检测氦气浓度变化的核心部件，其工作原理是利用氦气的电离特性，将氦气离子化后通过电子倍增管放大信号，最终转换为电压信号输出。氦气充装系统用于将氦气注入被检测系统中，真空系统则用于提供检测环境。计算机控制系统则用于控制检测过程和处理检测结果。

3. 检测方法
氦质谱真空检漏方法的检测过程包括以下几个步骤：
（1）准备工作：对检测仪器进行检查和校准，准备好氦气充装系统和真空系统。
（2）充氦：将氦气注入被检测系统中，使其达到一定的氦气浓度。
（3）检测：开启氦质谱检漏仪，对被检测系统进行检测。检测过程中，氦质谱检漏仪会不断地对氦气浓度进行监测，并将监测结果输出到计算机控制系统中。
（4）分析结果：根据检测结果，判断被检测系统是否存在漏点。如果存在漏点，则需要进一步确定漏点位置和漏气量。

4. 检测程序
氦质谱真空检漏方法的检测程序应包括以下内容：
（1）检测前的准备工作；
（2）氦气充装系统的操作；
（3）真空系统的操作；
（4）氦质谱检漏仪的操作；
（5）检测结果的处理和报告。

5. 检测结果的处理和报告
氦质谱真空检漏方法的检测结果应包括被检测系统的漏气量、漏点位置和漏点数量等信息。检测结果应以报告的形式呈现，报告中应包括被检测系统的基本信息、检测结果和分析结论等内容。

相关标准
GB/T 13932-2018 真空技术 术语
GB/T 13933-2018 真空技术 真空计量方法
GB/T 13934-2018 真空技术 真空泵性能试验方法
GB/T 13935-2018 真空技术 真空系统漏率测量方法
GB/T 13936-2018 真空技术 真空系统漏率限值