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原子力显微镜（AFM）是一种高分辨率的表面形貌测量仪器，广泛应用于纳米科技、材料科学、生物医学等领域。在进行亚纳米级别的高度测量时，需要对AFM进行校准，以保证测量结果的准确性和可靠性。

Si（111）晶面原子台阶是一种具有高度规则性和可重复性的表面结构，其高度为0.315 nm，是进行AFM高度校准的理想标准。本标准规定了利用Si（111）晶面原子台阶对AFM进行亚纳米高度测量校准的方法。

根据本标准，进行AFM高度校准的步骤如下：

1. 准备Si（111）晶面原子台阶样品，并进行表面清洁处理。

2. 将样品放置在AFM扫描平台上，并进行扫描。

3. 选择扫描区域，进行高度测量，并记录测量结果。

4. 计算测量结果与Si（111）晶面原子台阶标准高度之间的偏差，并进行校准。

5. 重复以上步骤，直至测量结果与标准高度之间的偏差小于规定的误差范围。

本标准的实施可以有效提高AFM高度测量的准确性和可靠性，为纳米科技、材料科学、生物医学等领域的研究提供了重要的技术支持。

相关标准：
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