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钢表面薄膜的元素深度分布是钢材表面处理的重要参数之一，对于钢材的性能和使用寿命有着重要的影响。本标准规定了辉光放电原子发射光谱法测定钢表面纳米、亚微米尺度薄膜元素深度分布的方法，为钢材表面处理提供了一种可靠的测试方法。

本标准要求使用辉光放电原子发射光谱仪进行测试，测试前需要对仪器进行校准和标定。测试时需要选择合适的分析条件，包括激发能量、分析深度、分析时间等。测试结果需要进行数据处理和分析，得出元素深度分布曲线。

本标准适用于钢表面纳米、亚微米尺度薄膜元素深度分布的定量测定，但不适用于非金属材料和非均匀薄膜的测试。

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