俄歇电子能谱分析是一种表面分析和深度分析技术，可用于研究材料表面和界面的化学成分、结构和电子状态等信息。本标准规定了俄歇电子能谱分析方法的通则，包括以下方面的要求：

1. 样品制备：样品应制备成平整、干净、光滑的表面，并避免表面污染和氧化等现象。

2. 仪器校准：仪器应定期进行能量和分辨率的校准，以保证测量结果的准确性和可靠性。

3. 测量条件：测量时应控制好电子束的能量、角度和强度等参数，以及样品的温度和真空度等条件，以获得高质量的俄歇电子能谱数据。

4. 数据处理：数据处理应包括能谱峰的拟合、背景的去除、能量校准和分辨率的计算等步骤，以获得准确的能量和分辨率数据。

本标准还规定了俄歇电子能谱分析中常用的能量分辨率和分辨率的计算方法，并提供了实例说明。此外，本标准还介绍了俄歇电子能谱分析的应用范围和限制。

相关标准
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