扫描探针显微镜是一种高分辨率的显微镜，可以用于表面形貌的观察和测量。在扫描探针显微镜的使用过程中，由于各种因素的影响，会出现漂移现象，即扫描探针在扫描过程中出现位置偏移的现象。漂移现象会影响扫描探针显微镜的测量精度和可靠性，因此需要对漂移速率进行测量和控制。

本标准规定了扫描探针显微镜漂移速率的测量方法。测量方法包括两种：基于扫描探针显微镜图像的测量方法和基于参考标记的测量方法。其中，基于扫描探针显微镜图像的测量方法适用于扫描探针显微镜的漂移速率测量，基于参考标记的测量方法适用于扫描探针显微镜的漂移速率校准。

基于扫描探针显微镜图像的测量方法包括以下步骤：

1. 在扫描探针显微镜上选择一个区域进行扫描，记录扫描探针的位置和时间。

2. 对扫描得到的图像进行处理，提取出感兴趣的特征点。

3. 对特征点进行跟踪，记录其位置和时间。

4. 根据记录的位置和时间数据，计算出扫描探针的漂移速率。

基于参考标记的测量方法包括以下步骤：

1. 在扫描探针显微镜上选择一个参考标记，记录其位置和时间。

2. 对扫描得到的图像进行处理，提取出参考标记的位置信息。

3. 对参考标记的位置信息进行跟踪，记录其位置和时间。

4. 根据记录的位置和时间数据，计算出扫描探针的漂移速率。

本标准还规定了漂移速率的计算方法和测量误差的评定方法。

相关标准
GB/T 29189-2012 扫描探针显微镜图像质量评价方法
GB/T 29191-2012 扫描探针显微镜扫描速率测量方法
GB/T 29192-2012 扫描探针显微镜扫描线性度测量方法
GB/T 29193-2012 扫描探针显微镜扫描分辨率测量方法
GB/T 29194-2012 扫描探针显微镜扫描角度测量方法