气体配送系统是工业生产中常用的一种输送气体的系统，其部件表面粗糙度对系统的性能有着重要的影响。为了保证气体配送系统的正常运行，需要对其部件表面粗糙度进行测量和评估。本标准提供了一种测定气体配送系统部件表面粗糙度的方法，即扫描隧道显微术。

扫描隧道显微术是一种高分辨率的表面形貌测量技术，可以对样品表面进行三维形貌测量，并能够获得表面的粗糙度参数。该技术具有非接触、高分辨率、高精度等优点，适用于对微小表面结构进行测量和分析。

本标准适用于测量气体配送系统部件表面粗糙度，包括管道、阀门、接头等部件。测量前需要对样品进行清洗和处理，以保证测量结果的准确性和可靠性。测量时需要选择合适的扫描参数和扫描区域，以获得准确的表面形貌数据。测量结果应该包括表面形貌图像和粗糙度参数，如Ra、Rz等。

本标准的实施可以帮助气体配送系统制造商和使用者对系统部件表面粗糙度进行评估和控制，提高系统的性能和可靠性。

相关标准
- GB/T 2519-2019 金属材料表面粗糙度参数和表面粗糙度值的表示方法
- GB/T 6062-2019 金属材料表面粗糙度测量方法
- GB/T 9754-2009 金属材料表面粗糙度测量术语
- GB/T 11665-2012 金属材料表面粗糙度测量方法 扫描线法
- GB/T 13565-2017 金属材料表面粗糙度测量方法 扫描电子显微镜法