一、范围
本标准适用于利用原子力显微镜测量溅射薄膜表面粗糙度的方法。

二、引用标准
GB/T 12528-2008 金属材料表面粗糙度参数及其测量方法
GB/T 1804-2000 一般技术要求的表示方法
GB/T 2828.1-2012 抽样程序及抽样表第1部分：按接收质量限制的抽样程序（ISO 2859-1：1999，MOD）
GB/T 2829-2002 一般检验程序的抽样检验表的制定和使用
GB/T 8170-2008 数值表示方法和圆整规则

三、术语和定义
3.1 溅射薄膜
指通过物理气相沉积（PVD）或化学气相沉积（CVD）等方法制备的薄膜。

3.2 表面粗糙度
表面在微观尺度上的不规则程度。

3.3 原子力显微镜
一种利用原子力作为探针，通过扫描样品表面来获取表面形貌信息的显微镜。

四、测量方法
4.1 仪器
使用扫描式原子力显微镜进行测量。

4.2 样品制备
样品应在室温下保存，并在测量前进行清洁处理。

4.3 测量条件
4.3.1 扫描区域
扫描区域应选取样品表面的典型区域，避免选择表面缺陷或污染区域。

4.3.2 扫描参数
扫描参数应根据样品表面粗糙度和形貌进行选择，以保证测量结果的准确性和可重复性。

4.3.3 扫描速度
扫描速度应根据样品表面粗糙度和形貌进行选择，以保证测量结果的准确性和可重复性。

4.4 测量结果的处理
4.4.1 数据采集
应采集足够数量的数据以保证测量结果的可靠性。

4.4.2 数据处理
应根据GB/T 12528-2008中的表面粗糙度参数进行数据处理，并按照GB/T 1804-2000中的表示方法进行表示。

五、质量保证
5.1 检验
应按照GB/T 2828.1-2012和GB/T 2829-2002进行检验。

5.2 记录
应按照GB/T 8170-2008的规定进行记录。

相关标准
GB/T 12528-2008 金属材料表面粗糙度参数及其测量方法
GB/T 1804-2000 一般技术要求的表示方法
GB/T 2828.1-2012 抽样程序及抽样表第1部分：按接收质量限制的抽样程序（ISO 2859-1：1999，MOD）
GB/T 2829-2002 一般检验程序的抽样检验表的制定和使用
GB/T 8170-2008 数值表示方法和圆整规则