纳米技术是一种新兴的技术，其应用范围非常广泛，包括电子、材料、生物医学等领域。纳米薄膜是纳米技术中的重要组成部分，其厚度的测量对于纳米技术的研究和应用具有重要意义。原子力显微术是一种常用的纳米尺度测量技术，本标准规定了使用原子力显微术测量纳米薄膜厚度的方法。

本标准规定了测量前的样品制备、测量条件、数据处理等方面的要求。在样品制备方面，要求样品表面光洁度高，无明显缺陷和污染。在测量条件方面，要求使用合适的探针和扫描参数，保证测量结果的准确性和可重复性。在数据处理方面，要求对测量数据进行处理和分析，得到纳米薄膜的厚度值。

本标准的实施可以保证纳米薄膜厚度的测量结果准确可靠，为纳米技术的研究和应用提供了重要的技术支持。

相关标准
- GB/T 19519-2004 纳米技术 术语
- GB/T 31770-2015 纳米技术 纳米颗粒尺寸的测量方法
- GB/T 31771-2015 纳米技术 纳米颗粒形貌的测量方法
- GB/T 31772-2015 纳米技术 纳米颗粒表面电荷密度的测量方法
- GB/T 31773-2015 纳米技术 纳米颗粒表面化学成分的测量方法