微纳米技术是一种新兴的技术，其应用范围非常广泛，包括半导体、光学、生物医学、纳米材料等领域。在微纳米技术中，表面形貌和表面粗糙度是非常重要的参数，因此需要使用标准样板进行测量和校准。

本标准规定了微纳米标准样板（几何量）的分类、要求、检验方法、标志、包装、运输和贮存。标准样板应具有良好的表面形貌和表面粗糙度，以确保其可靠性和准确性。

标准样板应具有以下要求：
1. 表面形貌应符合标准要求，不得有明显的缺陷和污染。
2. 表面粗糙度应符合标准要求，不得有明显的偏差和异常。
3. 标准样板应具有良好的稳定性和可重复性，以确保其可靠性和准确性。
4. 标准样板应具有良好的耐用性和抗腐蚀性，以确保其长期使用效果。

标准样板的检验方法包括表面形貌和表面粗糙度的测量和比较。表面形貌的测量方法包括扫描电子显微镜、原子力显微镜等，表面粗糙度的测量方法包括光学表面粗糙度仪、原子力显微镜等。

标准样板应标注以下信息：
1. 标准样板的名称和型号。
2. 标准样板的制造商和生产日期。
3. 标准样板的表面形貌和表面粗糙度等参数。
4. 标准样板的使用范围和注意事项。

标准样板的包装、运输和贮存应符合相关标准要求，以确保其质量和可靠性。

相关标准
GB/T 3480-2014 金属材料表面粗糙度参数和表面粗糙度值的表示方法
GB/T 6062-2007 表面粗糙度测量方法
GB/T 13565-2017 表面形貌术语
GB/T 18062-2000 表面形貌测量术语
GB/T 19249-2017 原子力显微镜表面形貌测量方法