GB/T 33555-2017
洁净室及相关受控环境静电控制技术指南
发布时间:2017-05-12 实施时间:2017-09-01
洁净室是一种特殊的受控环境,需要对静电进行控制。静电会影响洁净室内的粒子控制和产品质量,因此静电控制是洁净室设计和运行中必须考虑的重要因素。本标准旨在规范洁净室及相关受控环境静电控制的技术要求、测试方法和评价标准,以确保洁净室内的静电控制符合要求。
本标准适用于各种类型的洁净室及相关受控环境,包括但不限于半导体制造、生物医药、食品加工等行业。本标准主要包括以下内容:
1. 静电控制的基本原理和概念,包括静电的产生、传递和消除等。
2. 静电控制的技术要求,包括静电控制的目标、控制方法、控制措施等。
3. 静电控制的测试方法,包括静电电位测试、静电电荷测试、静电场测试等。
4. 静电控制的评价标准,包括静电电位、静电电荷、静电场等指标的评价方法和标准。
5. 静电控制的设备和材料,包括静电消除器、静电防护材料等。
本标准要求洁净室及相关受控环境的静电控制应符合国家相关标准和法规的要求,并应根据实际情况进行合理的静电控制设计和实施。同时,本标准还要求对洁净室及相关受控环境的静电控制进行定期检测和评价,以确保静电控制的有效性和稳定性。
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