洁净室及相关受控环境是一种特殊的环境，要求空气中的微粒、细菌、化学物质等污染物浓度达到一定的要求。其中，化学物浓度是影响洁净室环境质量的重要因素之一。本标准就是针对化学物浓度对表面洁净度等级的影响进行规定的。

本标准将表面洁净度等级分为4个等级，分别为A、B、C、D级。其中，A级为最高等级，D级为最低等级。不同等级的要求如下：

A级：化学物浓度不得超过0.1ppm；
B级：化学物浓度不得超过1ppm；
C级：化学物浓度不得超过10ppm；
D级：化学物浓度不得超过100ppm。

本标准还规定了化学物浓度的测量方法，包括采样、样品处理、分析等步骤。其中，采样时要注意采样位置、采样时间、采样流量等因素，以保证采样结果的准确性。

此外，本标准还规定了洁净室中化学物浓度的控制方法。对于需要控制化学物浓度的洁净室，应该采取相应的控制措施，如增加通风量、使用吸附剂、控制工艺参数等。

相关标准
- GB/T 25915.1-2010 洁净室及相关受控环境 第1部分：分类
- GB/T 25915.2-2010 洁净室及相关受控环境 第2部分：洁净室试验方法
- GB/T 25915.3-2010 洁净室及相关受控环境 第3部分：洁净室设计与建造
- GB/T 25915.4-2010 洁净室及相关受控环境 第4部分：洁净室运行
- GB/T 25915.5-2010 洁净室及相关受控环境 第5部分：洁净室检测与监控