GB/T 25915.13-2022
洁净室及相关受控环境 第13部分:达到粒子和化学洁净度要求的表面清洁
发布时间:2022-12-30 实施时间:2023-07-01
洁净室和相关受控环境中的表面清洁是确保产品质量和生产效率的重要因素。本标准旨在规定表面清洁的要求和测试方法,以确保洁净室和相关受控环境中的表面达到粒子和化学洁净度要求。
本标准适用于洁净室和相关受控环境中的表面清洁。本标准所述的表面清洁是指表面上的粒子和化学物质的含量达到一定的要求,以确保洁净室和相关受控环境中的产品质量和生产效率。
本标准规定了表面清洁的要求和测试方法。表面清洁的要求包括粒子和化学洁净度要求。测试方法包括粒子计数法、化学分析法和表面粘附法等。
本标准规定了表面清洁的分类和等级。表面清洁的分类包括机械清洁和化学清洁。机械清洁是指通过机械方法去除表面上的污染物,如吸尘、擦拭等。化学清洁是指通过化学方法去除表面上的污染物,如溶解、蒸发等。表面清洁的等级包括A级、B级和C级。A级表面清洁要求最高,C级表面清洁要求最低。
本标准还规定了表面清洁的验证方法。验证方法包括表面粘附法和化学分析法。表面粘附法是指将一定面积的粘性材料贴在表面上,然后将其剥离并用显微镜观察粘附在上面的粒子数量和大小。化学分析法是指通过化学分析方法测定表面上化学物质的含量。
相关标准
- GB/T 25915.1-2010 洁净室及相关受控环境 第1部分:分类
- GB/T 25915.2-2010 洁净室及相关受控环境 第2部分:洁净室试验方法
- GB/T 25915.3-2010 洁净室及相关受控环境 第3部分:洁净室设计和建造
- GB/T 25915.4-2010 洁净室及相关受控环境 第4部分:洁净室运行
- GB/T 25915.5-2010 洁净室及相关受控环境 第5部分:洁净室测试方法