微束分析扫描电子显微术是一种高分辨率的表面分析技术，广泛应用于材料科学、生物医学、环境科学等领域。该技术通过扫描电子显微镜和微束分析仪的联合使用，可以对样品表面进行高分辨率成像和元素分析。在微束分析扫描电子显微术中，术语的准确使用对于保证分析结果的准确性和可靠性至关重要。

GB/T 23414-2009《微束分析 扫描电子显微术 术语》共收录了60个术语和定义，其中包括了扫描电子显微镜、微束分析仪、样品制备、成像和分析等方面的术语。例如，该标准对于扫描电子显微镜中的“透射电子显微镜”、“场发射扫描电子显微镜”等术语进行了定义；对于微束分析仪中的“能量分散X射线谱仪”、“时间分辨荧光X射线谱仪”等术语进行了解释；对于样品制备中的“金属薄膜制备”、“离子刻蚀”等术语进行了说明。

在实际应用中，正确理解和使用术语是保证分析结果准确性和可靠性的前提。因此，GB/T 23414-2009《微束分析 扫描电子显微术 术语》的发布对于规范微束分析扫描电子显微术中的术语使用，提高技术水平和分析质量具有重要意义。

相关标准
GB/T 6900-2006 扫描电子显微镜 术语
GB/T 6901-2006 透射电子显微镜 术语
GB/T 6902-2006 电子探针显微镜 术语
GB/T 6903-2006 X射线衍射分析 术语
GB/T 6904-2006 X射线荧光分析 术语