柔性铰链机构和压电陶瓷驱动器是目前纳米定位和扫描平台中常用的驱动和支撑机构。本标准旨在规范基于柔性铰链机构和压电陶瓷驱动器的纳米定位与扫描平台的测量方法，以保证其精度和稳定性。

本标准适用于基于柔性铰链机构和压电陶瓷驱动器的纳米定位与扫描平台的测量。其中，柔性铰链机构是指由多个铰链组成的柔性机构，能够实现高精度的运动控制；压电陶瓷驱动器是指利用压电效应实现精密位移控制的驱动器。

本标准规定了平台的静态误差、动态误差、重复性误差、稳定性误差等指标的测量方法。其中，静态误差是指平台在不同位置下的误差；动态误差是指平台在运动过程中的误差；重复性误差是指平台在多次运动中的误差；稳定性误差是指平台在长时间运动中的误差。

本标准要求使用合适的测量设备和方法进行测量，包括激光干涉仪、电容传感器、高精度电子天平等。同时，还要求对测量结果进行分析和处理，以得出平台的各项误差指标。

本标准的实施可以提高基于柔性铰链机构和压电陶瓷驱动器的纳米定位与扫描平台的精度和稳定性，为相关领域的研究和应用提供可靠的技术支持。

相关标准
- GB/T 38613-2020 基于柔性铰链机构和压电陶瓷驱动器的纳米定位与扫描平台技术要求
- GB/T 38615-2020 基于柔性铰链机构和压电陶瓷驱动器的纳米定位与扫描平台试验方法
- GB/T 38616-2020 基于柔性铰链机构和压电陶瓷驱动器的纳米定位与扫描平台标定方法
- GB/T 38617-2020 基于柔性铰链机构和压电陶瓷驱动器的纳米定位与扫描平台使用与维护指南
- GB/T 38618-2020 基于柔性铰链机构和压电陶瓷驱动器的纳米定位与扫描平台安全规范