微机电装置（MEMS）是一种集成了微型机械、微电子和微光学技术的微型系统，具有体积小、重量轻、功耗低、响应速度快等优点，广泛应用于传感器、执行器、生物医学、通信等领域。为了规范MEMS领域的术语和定义，GB/T 2900.104-2021标准被制定出来。

该标准共包含了42个术语和定义，其中包括了MEMS的基本概念、MEMS的制造工艺、MEMS的应用领域等方面。下面列举几个常用的术语和定义：

1. 微机电系统（MEMS）：一种集成了微型机械、微电子和微光学技术的微型系统。

2. 微机电器件（MEMS device）：由微机械、微电子和微光学技术制造的微型器件。

3. 微机械（micro-mechanical）：尺寸在微米级别的机械结构。

4. 微电子（micro-electronics）：尺寸在微米级别的电子器件。

5. 微光学（micro-optics）：尺寸在微米级别的光学器件。

除了上述术语和定义外，该标准还包括了MEMS的制造工艺、MEMS的应用领域等方面的术语和定义。通过该标准的规范，可以使MEMS领域的术语和定义更加统一，方便不同领域的人员进行交流和合作。

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