微束分析电子探针显微分析（EPMA）是一种高分辨率、高精度的分析技术，广泛应用于材料科学、地球科学、环境科学、生命科学等领域。为了保证该技术的准确性和标准化，GB/T 21636-2021 微束分析 电子探针显微分析（EPMA） 术语标准被制定出来。

该标准共包含了47个术语和定义，其中包括了微束分析电子探针显微分析（EPMA）的基本原理、仪器设备、样品制备、数据处理等方面的术语和定义。以下是一些常用的术语和定义：

1. 电子束：指由电子枪发射的电子束，用于扫描样品表面并激发样品中的元素。

2. 能量分散X射线谱仪（EDS）：一种用于分析样品中元素组成的仪器，通过测量样品中元素发射的X射线能量来确定元素种类和含量。

3. 样品：指待分析的物质，通常需要进行制备和处理以满足分析要求。

4. 能量分辨率：指能够分辨两个能量之间的最小差异。

5. 能量刻度：指将X射线能量与元素种类进行对应的过程。

除了以上术语和定义，该标准还包括了许多其他的术语和定义，可以帮助人们更好地理解和应用微束分析电子探针显微分析（EPMA）技术。

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