BS ISO 21501-4:2018+A1:2023标准是一项用于测定洁净空间中颗粒物粒径分布的单粒子光相互作用方法。该标准适用于测量空气中直径在0.1 μm至5 μm之间的颗粒物。该标准规定了光散射颗粒计的性能要求、校准方法、测量程序和数据处理方法。
该标准要求使用的光散射颗粒计必须符合以下性能要求:
1. 测量范围:0.1 μm至5 μm;
2. 测量精度:在0.1 μm至5 μm范围内,误差不得超过±10%;
3. 测量灵敏度:对于0.1 μm的颗粒物,灵敏度不得低于50%;
4. 测量时间:对于每个粒径,测量时间不得超过5分钟;
5. 测量重复性:对于同一粒径的颗粒物,重复测量的标准偏差不得超过5%。
该标准还规定了光散射颗粒计的校准方法。校准应在干净的环境中进行,使用标准颗粒物进行校准。校准应包括以下步骤:
1. 确定光散射颗粒计的灵敏度;
2. 确定光散射颗粒计的响应因子;
3. 确定光散射颗粒计的流量。
该标准还规定了测量程序和数据处理方法。测量程序应包括以下步骤:
1. 准备光散射颗粒计;
2. 校准光散射颗粒计;
3. 进行测量;
4. 处理数据。
数据处理方法应包括以下步骤:
1. 计算每个粒径的颗粒物浓度;
2. 计算每个粒径的颗粒物浓度的标准偏差;
3. 绘制颗粒物粒径分布曲线。
BS ISO 21501-4:2018+A1:2023标准的实施可以帮助洁净空间的管理者了解空气中颗粒物的粒径分布情况,从而采取相应的措施来控制颗粒物的浓度,保证洁净空间的质量。
相关标准
- ISO 14644-1:2015 Cleanrooms and associated controlled environments - Part 1: Classification of air cleanliness
- ISO 14644-2:2015 Cleanrooms and associated controlled environments - Part 2: Monitoring to provide evidence of cleanroom performance related to air cleanliness by particle concentration
- ISO 14644-3:2019 Cleanrooms and associated controlled environments - Part 3: Test methods
- ISO 14644-4:2001 Cleanrooms and associated controlled environments - Part 4: Design, construction and start-up
- ISO 14644-5:2004 Cleanrooms and associated controlled environments - Part 5: Operations