BS ISO 21466:2019标准主要介绍了通过CDSEM评估关键尺寸的方法。CDSEM是一种高分辨率的显微镜，可以用于观察微小的结构和表面形貌。该标准主要针对半导体器件、MEMS、纳米技术和生物材料等领域，旨在提供一种可重复、可比较和准确的方法，以评估关键尺寸的精度和可重复性。

该标准主要包括以下内容：

1. 术语和定义：介绍了与CDSEM相关的术语和定义，以便在标准中使用时更加准确。

2. 测量方法：介绍了通过CDSEM测量关键尺寸的方法，包括样品制备、扫描参数设置、图像获取和数据处理等。

3. 测量不确定度：介绍了如何计算测量不确定度，以评估测量结果的可靠性和精度。

4. 数据分析：介绍了如何对测量数据进行分析，以评估关键尺寸的精度和可重复性。

5. 报告：介绍了如何编写测量报告，以便于结果的交流和比较。

该标准的实施可以提高关键尺寸测量的准确性和可重复性，有助于保证产品质量和技术进步。

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