BS ISO 16531:2020
Surface chemical analysis. Depth profiling. Methods for ion beam alignment and the associated measurement of current or current density for depth profiling in AES and XPS
发布时间：2020-10-31 实施时间：
BS ISO 16531:2020标准规定了离子束对准的方法和相关电流或电流密度测量的要求，以确保深度剖析的准确性和可重复性。该标准适用于使用AES和XPS技术进行表面化学分析的实验室和工业应用。
离子束对准是离子束剖析技术中非常重要的一步，它决定了深度剖析的精度和可靠性。该标准规定了离子束对准的方法，包括离子束的位置、角度和能量的调整。此外，该标准还规定了测量离子束电流或电流密度的方法，以确保离子束对准的准确性和可重复性。
该标准还规定了离子束对准的验证方法，以确保离子束对准的准确性和可靠性。验证方法包括使用标准样品进行离子束对准和测量电流或电流密度，以及使用标准样品进行深度剖析并比较结果与已知深度的标准样品进行验证。
BS ISO 16531:2020标准的实施可以提高深度剖析的精度和可靠性，从而提高表面化学分析的准确性和可靠性。该标准适用于使用离子束剖析技术进行表面化学分析的实验室和工业应用。
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