扫描电子显微镜（SEM）是一种常用的微束分析技术，可以用于表面形貌、成分分析、晶体结构等方面的研究。在SEM中，电子束扫描样品表面，产生的信号被检测器接收并转换成图像或者信号谱。由于SEM的分辨率高、成像速度快、样品制备简单等优点，因此在材料科学、生物学、地质学等领域得到了广泛应用。

然而，SEM的定量测量需要考虑到多种因素，如SEM的性能、样品制备、测量条件等。为了确保SEM的性能和测量结果的准确性，ISO/TS 21383:2021标准规定了SEM的定量测量的合格评定方法。该标准包括以下内容：

1. SEM的性能评定：包括分辨率、信噪比、能量分辨率等指标的测试和评定。

2. 样品制备：包括样品表面处理、样品形状和尺寸等方面的要求。

3. 测量条件：包括电子束参数、检测器参数、扫描模式等方面的要求。

4. 测量结果的评定：包括测量结果的准确性、精度、重复性等方面的评定。

通过ISO/TS 21383:2021标准的合格评定，可以确保SEM的性能和测量结果的准确性，从而得到可靠的科学研究和工业应用结果。

相关标准
- ISO 17025:2017 检验和校准实验室的通用要求
- ISO 14976:2019 微束分析. 扫描电子显微镜. 性能规范
- ISO 19263:2018 微束分析. 扫描电子显微镜. 标准化图像质量参数
- ISO 18434-1:2008 机械设备. 状态监测和诊断. 机械振动测量. 第1部分：基本原理
- ISO 18436-2:2014 机械设备. 状态监测和诊断. 振动分析. 第2部分：振动分析测量和评估