二次离子质谱（SIMS）是一种表面化学分析技术，可以用于分析材料表面的化学成分和结构。SIMS技术通过将高能离子轰击样品表面，产生二次离子并进行质谱分析，从而得到样品表面的化学信息。在SIMS分析中，质量分辨率是一个重要的参数，它决定了SIMS分析结果的准确性和可靠性。

ISO/TS 22933:2022标准主要介绍了SIMS中质量分辨率的测量方法。该标准要求使用标准样品进行质量分辨率测量，并提供了详细的测量步骤和数据处理方法。标准还要求对SIMS仪器进行定期校准和验证，以确保SIMS分析结果的准确性和可靠性。

除了质量分辨率测量方法，ISO/TS 22933:2022标准还介绍了SIMS分析中其他重要的参数，如质量准确度、检测限和灵敏度等。标准要求实验室和研究机构应该对这些参数进行定期校准和验证，以确保SIMS分析结果的准确性和可靠性。

ISO/TS 22933:2022标准的实施可以提高SIMS分析结果的准确性和可靠性，有助于保证SIMS技术在表面化学分析中的应用效果。该标准适用于使用SIMS技术进行表面化学分析的实验室和研究机构，可以作为实验室质量管理体系的重要组成部分。

相关标准
- ISO 18115-1:2016 表面化学分析. 二次离子质谱. 第1部分：术语和定义
- ISO 18115-2:2016 表面化学分析. 二次离子质谱. 第2部分：仪器性能规范
- ISO 18115-3:2016 表面化学分析. 二次离子质谱. 第3部分：数据处理
- ISO 18115-4:2016 表面化学分析. 二次离子质谱. 第4部分：质量准确度和质量校准
- ISO 18115-5:2016 表面化学分析. 二次离子质谱. 第5部分：质量分辨率