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BS ISO 5618-1. Fine ceramics (advanced ceramics, advanced technical ceramics). Test method for GaN crystal surface defects - Part 1. Classification of defects
发布时间:2023-04-12 实施时间:


氮化镓是一种重要的半导体材料,广泛应用于LED、激光器、功率器件等领域。然而,氮化镓晶体表面缺陷会影响器件的性能和可靠性,因此对氮化镓晶体表面缺陷的检测和分类非常重要。BS ISO 5618-1标准提供了一种标准化的方法来评估氮化镓晶体表面缺陷的数量和类型,有助于提高氮化镓晶体的质量和性能。

BS ISO 5618-1标准主要包括以下内容:

1.范围:介绍了该标准适用的范围和目的。

2.引用文件:列出了与该标准有关的引用文件。

3.术语和定义:定义了与该标准有关的术语和定义。

4.缺陷分类:介绍了氮化镓晶体表面缺陷的分类方法,包括缺陷的形状、大小、位置等方面。

5.测试方法:介绍了氮化镓晶体表面缺陷的测试方法,包括使用显微镜、扫描电子显微镜等设备进行检测。

6.报告:介绍了测试结果的报告方法,包括缺陷数量、类型、位置等方面。

BS ISO 5618-1标准的实施可以帮助制造商和用户评估氮化镓晶体表面缺陷的数量和类型,有助于提高氮化镓晶体的质量和性能。同时,该标准也可以作为氮化镓晶体表面缺陷测试的参考标准,有助于提高测试的准确性和可靠性。

相关标准
BS ISO 5618-2:氮化镓晶体表面缺陷的测试方法-第2部分:缺陷计数方法

BS ISO 22412:氮化镓晶体的物理和机械性能的测定方法

BS EN 62326-1:半导体器件-氮化镓LED模块的可靠性评估-第1部分:一般原则和定义

BS EN 62326-2:半导体器件-氮化镓LED模块的可靠性评估-第2部分:可靠性试验方法