BS ISO 21360-5是真空技术领域的标准，主要介绍了测量NEG真空泵性能的标准方法。NEG真空泵是一种使用非挥发性吸附材料（NEG）制成的真空泵，具有高效、低污染、低漏气等优点，广泛应用于半导体、光学、航空航天等领域。该标准规定了测量NEG真空泵性能的方法和要求，包括真空度、抽气速度、泵速和泵效等指标的测量方法和计算公式。

首先，该标准规定了真空度的测量方法。真空度是指真空系统中气体分子数的密度，通常用帕斯卡（Pa）或托（Torr）表示。该标准规定了使用热电偶、离子计或质谱仪等仪器测量真空度的方法，并给出了计算公式。同时，该标准还规定了真空度的精度要求，以保证测量结果的准确性。

其次，该标准规定了抽气速度的测量方法。抽气速度是指真空泵在单位时间内抽出气体的体积，通常用升每秒（l/s）或立方米每小时（m3/h）表示。该标准规定了使用气体流量计或质谱仪等仪器测量抽气速度的方法，并给出了计算公式。同时，该标准还规定了抽气速度的精度要求，以保证测量结果的准确性。

此外，该标准还规定了泵速和泵效的测量方法。泵速是指真空泵在单位时间内抽出气体的质量，通常用千克每秒（kg/s）或克每秒（g/s）表示；泵效是指真空泵在单位功率下抽出气体的质量，通常用千克每秒每瓦特（kg/s/W）表示。该标准规定了使用气体流量计、质谱仪或重量计等仪器测量泵速和泵效的方法，并给出了计算公式。同时，该标准还规定了泵速和泵效的精度要求，以保证测量结果的准确性。

综上所述，BS ISO 21360-5是真空技术领域的重要标准，规定了测量NEG真空泵性能的标准方法和要求，对于保证NEG真空泵的性能符合国际标准，提高真空技术的应用水平和质量具有重要意义。

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