椭偏光法是一种用于表征材料光学性质的非破坏性测试方法。该方法利用椭偏光的旋转角度和振幅来确定材料的光学性质，包括折射率、消光系数、薄膜厚度和膜层结构等。椭偏光法广泛应用于半导体、光电子、涂料、生物医学和纳米技术等领域。

BS EN ISO 23131:2022标准规定了椭偏光法的基本原理和仪器。该标准详细介绍了椭偏光法的测量原理和方法，包括样品的制备、测量条件的选择和数据处理等。此外，该标准还介绍了如何使用椭偏光法表征材料的光学性质，包括折射率、消光系数、薄膜厚度和膜层结构等。

BS EN ISO 23131:2022标准适用于薄膜、表面和界面的表征。该标准适用于各种材料，包括金属、半导体、陶瓷、聚合物和生物材料等。该标准还适用于各种形式的样品，包括单晶、多晶、薄膜、涂层和纳米结构等。

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