BS IEC 62047-38:2021
Semiconductor devices. Micro-electromechanical devices - Test method for adhesion strength of metal powder paste in MEMS interconnection
发布时间:2021-07-31 实施时间:


BS IEC 62047-38:2021标准是针对MEMS互连中金属粉末浆粘附强度的测试方法。MEMS(Micro-Electro-Mechanical Systems)是一种微型机电系统,由微型机械部件、电子元器件和微型加工技术组成。MEMS器件广泛应用于传感器、执行器、加热器等领域。MEMS器件的互连是指将不同的MEMS器件通过金属粉末浆连接在一起,以实现器件之间的信号传输和能量传递。金属粉末浆是一种用于连接MEMS器件的材料,由金属粉末和有机粘合剂组成。金属粉末浆的粘附强度是影响器件可靠性和稳定性的重要因素。

BS IEC 62047-38:2021标准规定了一种测试MEMS互连中金属粉末浆粘附强度的方法。该方法使用剪切测试仪器,通过施加剪切力来评估金属粉末浆的粘附强度。测试过程中,将MEMS器件固定在测试仪器上,然后施加剪切力,直到金属粉末浆断裂。通过测量断裂前后的力和位移,可以计算出金属粉末浆的粘附强度。

该标准适用于使用金属粉末浆进行MEMS互连的器件,如加热器、传感器和执行器等。该标准的目的是为了评估金属粉末浆的粘附强度,以确保器件的可靠性和稳定性。该标准的实施可以帮助制造商评估金属粉末浆的质量,并优化制造过程,以提高器件的性能和可靠性。

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