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BS EN IEC 62047-45. Semiconductor devices. Micro-electromechanical devices - Part 45. Silicon based MEMS fabrication technology. Measurement method of impact resistance of nanostructures
发布时间：2023-04-20 实施时间：


MEMS技术是一种将微型机械系统与电子技术相结合的技术，可以制造出微型传感器、微型执行器等微型器件。MEMS器件通常由微型结构组成，这些微型结构通常非常脆弱，容易受到外界的冲击而损坏。因此，在MEMS器件的设计和制造过程中，需要对纳米结构的抗冲击性能进行评估和优化。

本标准提供了一种可靠的方法来测量纳米结构的抗冲击性能。该方法基于MEMS器件在冲击载荷下的变形和破坏行为，通过测量器件的电学性能来评估器件的抗冲击性能。具体来说，该方法通过施加冲击载荷，观察器件的电学性能变化，从而评估器件的抗冲击性能。

本标准的测量方法主要包括以下步骤：

1. 准备测试样品
2. 安装测试样品
3. 施加冲击载荷
4. 测量器件的电学性能
5. 分析和报告测量结果

在测量过程中，需要注意以下几点：

1. 测量过程中需要保持恒定的温度和湿度。
2. 测量过程中需要避免机械振动和电磁干扰。
3. 测量结果需要进行多次重复测量，以提高测量的可靠性和准确性。

本标准的测量方法可以用于评估各种类型的MEMS器件的抗冲击性能，包括加速度计、陀螺仪、压力传感器等。该方法可以帮助MEMS器件的设计和制造人员优化器件的结构和材料，提高器件的抗冲击性能，从而提高器件的可靠性和稳定性。

相关标准
- BS EN IEC 62047-1:2015. 半导体器件. 微电子机械系统器件 - 第1部分. 通用规范。
- BS EN IEC 62047-2:2015. 半导体器件. 微电子机械系统器件 - 第2部分. 加速度计。
- BS EN IEC 62047-3:2015. 半导体器件. 微电子机械系统器件 - 第3部分. 陀螺仪。
- BS EN IEC 62047-4:2015. 半导体器件. 微电子机械系统器件 - 第4部分. 压力传感器。
- BS EN IEC 62047-5:2015. 半导体器件. 微电子机械系统器件 - 第5部分. 加速度计和陀螺仪的组合器件。