BS IEC 62047-37:2020
Semiconductor devices. Micro-electromechanical devices - Environmental test methods of MEMS piezoelectric thin films for sensor application
发布时间:2023-04-30 实施时间:


BS IEC 62047-37:2020标准是针对传感器应用的MEMS压电薄膜的环境测试方法的标准。MEMS(Micro-Electro-Mechanical Systems)是一种微型机电系统,由微型机械部件、电子元件和微型加工技术组成。MEMS技术已经广泛应用于传感器、执行器、生物医学、光学和通信等领域。

MEMS压电薄膜是一种具有压电效应的薄膜材料,可以将机械能转换为电能或将电能转换为机械能。MEMS压电薄膜在传感器应用中具有广泛的应用,如加速度计、压力传感器、声波传感器等。

该标准规定了MEMS压电薄膜在各种环境条件下的测试方法,包括温度、湿度、机械应力、振动和电压等方面的测试。这些测试可以帮助评估MEMS压电薄膜在实际应用中的可靠性和稳定性。

温度测试是MEMS压电薄膜环境测试的重要部分。该标准规定了MEMS压电薄膜在不同温度下的测试方法,包括高温、低温和温度循环测试。湿度测试是评估MEMS压电薄膜在潮湿环境下的稳定性的重要测试。机械应力测试是评估MEMS压电薄膜在机械应力下的稳定性的重要测试。振动测试是评估MEMS压电薄膜在振动环境下的稳定性的重要测试。电压测试是评估MEMS压电薄膜在电场环境下的稳定性的重要测试。

该标准的实施可以帮助制造商评估MEMS压电薄膜在各种环境条件下的可靠性和稳定性,从而提高产品的质量和可靠性。

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