BS EN 62374-1:2010
Semiconductor devices - Time-dependent dielectric breakdown (TDDB) test for inter-metal layers
发布时间:2010-12-31 实施时间:
BS EN 62374-1:2010标准是半导体器件领域的重要标准之一,它规定了半导体器件中金属层间时间依赖性介电击穿(TDDB)测试的方法和程序。TDDB是半导体器件中一种常见的失效模式,它会导致器件的性能下降或失效,因此对TDDB进行测试和评估是非常重要的。
该标准适用于半导体器件中金属层间的TDDB测试,以评估器件的可靠性和寿命。测试样品应该是具有代表性的,可以是芯片、晶圆或者其他形式的样品。测试条件应该符合实际使用条件,包括温度、电场强度、电压等方面的要求。测试方法应该是可重复的,可以使用直流或脉冲电压进行测试。数据分析应该包括击穿时间、击穿电压、击穿概率等方面的指标。
该标准的实施可以帮助半导体器件制造商和用户评估器件的可靠性和寿命,提高产品质量和性能。同时,该标准也可以为半导体器件测试和评估提供参考和指导。
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